El equipo de nanoimpresión paso a paso («stepper») consiste en un pequeño chip de silicio estampado utilizado como sello y cuyo modelo se reproduce por impresión en una capa de polímero. La capa polimérica, compuesta por material termoplástico o curado con rayos UV, se emplea para la replicación de formas geométricas inferiores a 100 nanómetros en grandes superficies.